Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur...

Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren

Name: Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren
ISBN: 9783642478925

Dipl.-Ing. Walter Olbrich (auth.)

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Kategorien:

Jahr:

1994

Auflage:

Verlag:

Springer-Verlag Berlin Heidelberg

Sprache:

german

Seiten:

126

ISBN 10:

3642478921

ISBN 13:

9783642478925

Serien:

IPA-IAO — Forschung und Praxis 202

Datei:

PDF, 3.67 MB

IPFS:

german, 1994

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